1.芯片廢氣（qì）簡述

芯片作為電子產品核心部件，隨著電子產品的應用越來越廣泛，芯片的需求量在不斷的增長。但（dàn）是芯片廠在生產工藝中使用各種酸（suān）液、堿液（yè）、有機（jī）溶（róng）劑等產生HF、HCl、硫酸霧、氨氣、有機廢氣（qì）等汙染物。這（zhè）些廢氣汙染物，若沒有經過淨化處理就直接排放，將（jiāng）會對環境造成嚴重（chóng）大氣汙染，還會危害周圍居民健康。因此需要對芯片廢氣進行淨化處（chù）理後達標排放。

2.芯片廢氣處理方法

芯片在生產過（guò）程產生HF、HCl、硫酸霧、氨氣、有機廢氣等廢氣汙（wū）染物，對於HF、HCl、硫酸霧等酸性廢氣采用噴淋堿洗即可處理，氨氣堿性（xìng）處理采用噴淋酸性處理，而對於有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法（fǎ）、燃燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋小編詳細介紹芯片廢氣處理方法。

2.1酸堿性廢氣處理方法

酸（suān）性廢氣處理方法是采用“堿液噴（pēn）淋塔”進行處（chù）理，以10%的氫（qīng）氧化鈉溶液為吸收液。堿性（xìng）廢（fèi）氣處理方法（fǎ）是采用（yòng）“酸液噴淋塔”進（jìn）行處理，以10%的硫（liú）酸溶液為吸（xī）收液。酸性、堿性廢氣洗滌淨化法，在（zài）電子行業生產中（zhōng）應用相當普遍，具有運（yùn）行穩（wěn）定，處理效果好（hǎo），投資（zī）少，處理（lǐ）費（fèi）用低等（děng）優（yōu）點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭（tàn）吸附法

活性炭吸（xī）附法主（zhǔ）要原理就是利用多孔固體（tǐ）吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來（lái）處（chù）理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸（xī）附劑（jì）的表麵（miàn），從而（ér）達到（dào）淨化有機廢氣（qì）的目的。吸附法目前主要應用於大風（fēng）量、低濃度（≤800mg/m3）、無（wú）顆粒物、無粘性物、常溫的低濃（nóng）度（dù）有（yǒu）機（jī）廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭（tàn）吸附可達到90%以上），實（shí）用遍及，操縱簡單，投資低。在（zài）吸附飽和以後需要更換新的（de）活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和（hé）以後的活（huó）性炭也是需要找專（zhuān）業人員進行危廢處理，運（yùn）行費用高。

（2）燃燒法（fǎ）

燃燒法（fǎ）隻在揮發性有機物（wù）在高溫及空氣充足的條件下進行完全（quán）燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法（fǎ）適用於（yú）各類有機廢氣，可以分為直接燃（rán）燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度（dù）大於5000mg/m³ 的高濃度廢（fèi）氣（qì）一般采用（yòng）直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫（wēn）度一般控製（zhì）在1100℃，處理效率高，可以（yǐ）達到（dào）95％一99％。

熱力（lì）燃燒法適合於處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃（rán）燒法，廢氣中VOCs濃（nóng）度較（jiào）低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫（wēn）度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理（lǐ）VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢（fèi）氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱（rè）力燃燒或者（zhě）催化燃燒法處理有（yǒu）機廢氣，其淨化率是（shì）比較高的，但是其投資運營成本極高。因（yīn）廢（fèi）氣排放的點多且分散，很難（nán）實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要（yào）很大的占（zhàn）地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且（qiě）濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催（cuī）化燃燒的（de）投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較（jiào）低一些（xiē）；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成（chéng）中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非（fēi）常嚴格，否則會造成催化（huà）燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能（néng）UV紫外線光束分解空（kōng）氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊（yóu）離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結（jié）合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭（chòu）氣體進行協（xié）同光解氧化（huà）作（zuò）用，使有機廢氣、惡臭氣體物（wù）質降解轉（zhuǎn）化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨（jìng）化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及（jí）惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能（néng）穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低（dī），無需專（zhuān）人（rén）管理與維（wéi）護，隻需作定期檢查（chá）。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防（fáng）火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用於化工、製（zhì）藥（yào）等（děng）防爆要求高的（de）行（háng）業。

以上關於芯片廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於芯片廢氣處（chù）理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收（shōu）集等方麵進行設計收集處理。如果您（nín）有芯片廢氣需要（yào）淨（jìng）化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提（tí）供芯片廢氣處理方案及設（shè）備。