首先废气经均流板过滤棉进入设备时，由（yóu）设备（bèi）高压稳定高（gāo）频放电，瞬间产（chǎn）生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿（chuān）废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学（xué）键破裂，从（cóng）而变成（chéng）小分子化（huà）合物，此为（wéi）第一阶段净化（huà）。

其次，随废气进入设备的水分子、氧分（fèn）子（zǐ）被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基（jī）、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反（fǎn）应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效（xiào）率（lǜ）非常高。

等（děng）离子功能段可以激发污染物（wù）能量，促使长链、多链污（wū）染物分子（zǐ）的分子键断裂重组，使难处（chù）理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。

从等离（lí）子体反应过程可以（yǐ）看出（chū），电子先从（cóng）电场获得能（néng）量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染（rǎn）物分子被激发，同时有部分分子被（bèi）电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性（xìng）基团与活性基团之间相互（hù）碰撞（zhuàng）后生成稳（wěn）定产物和热。

另（lìng）外，高能电子也能（néng）被卤素（sù）和氧气等电子（zǐ）亲和（hé）力较强的物质俘（fú）获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中（zhōng）起（qǐ）着重要的作用。