首先废气经均流板过滤棉进（jìn）入设备时，由设备（bèi）高压稳定高频放电，瞬间产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由（yóu）于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学键破（pò）裂，从而变成小（xiǎo）分子（zǐ）化合物，此为第一阶段净化。

其次，随废气进入设备的水分（fèn）子、氧分子被高压击穿（chuān）断裂（liè），生成强（qiáng）氧化基团羟基、臭氧分（fèn）子等。这些强氧化基团与（yǔ）废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应（yīng）干净，能量利用率高，净化效率非常高。

等离（lí）子功（gōng）能段可（kě）以激发污染物能量，促使长链、多链污染物分子的分子（zǐ）键断裂重组，使难处理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。

从等离子体反应过程可以看（kàn）出（chū），电子先从电场获得能（néng）量，通过激发或电离（lí）将能量（liàng）转移到污染（rǎn）物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有（yǒu）部分分子被电离，从而成为活性（xìng）基团（tuán）。然后这些活（huó）性基团与氧气、活性基（jī）团与（yǔ）活性（xìng）基团之间相互碰（pèng）撞后生成稳定产物和热。

另（lìng）外，高能电子（zǐ）也能被卤素和氧气（qì）等电子亲和力（lì）较强（qiáng）的物质俘获，成为负离子（zǐ）。这类负离子具有很好的化学（xué）活性，在化学反应中起着重要的作用。