首先废气经均流板（bǎn）过滤棉进（jìn）入设备（bèi）时，由设备高压稳（wěn）定高频放（fàng）电（diàn），瞬间产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链（liàn）废气分（fèn）子由于键（jiàn）能较弱，约束力（lì）较小。很容易被击穿化学键破裂，从而变成小分子化合物（wù），此为第一（yī）阶段（duàn）净化。

其次，随废气进入设备的水分（fèn）子、氧分子被（bèi）高压击（jī）穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等（děng）。这些强氧化基团与废气分子充分接（jiē）触氧化，加快反应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效率非常高。

等离子功能段可以激发污染物能量，促使（shǐ）长链、多链污染物分子的分子键断裂重组，使（shǐ）难处理的污染物降解为较易（yì）处理的低碳污染物。

从等离子体反应过程（chéng）可（kě）以看（kàn）出，电子先（xiān）从电场获得能量，通（tōng）过激发或电离将能（néng）量转移到污染物（wù）分子中去，那些获得能量的污染物（wù）分（fèn）子被激（jī）发，同时有部（bù）分分子被电离，从（cóng）而成（chéng）为活性基团。然后这些活性基（jī）团与氧气、活性基团与活性基（jī）团（tuán）之间相互（hù）碰撞后生成（chéng）稳定产物和热。

另外（wài），高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子（zǐ）。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中（zhōng）起着重要的作用。