首先废气经均流（liú）板过滤棉进入设备时，由设备高压稳定高频放电，瞬间产生1.5万伏特至2万（wàn）伏特高压，击（jī）穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于（yú）键能较弱，约束力较小。很容（róng）易被击穿化学键破（pò）裂，从而（ér）变成小分子化合物，此为第一阶段净化。

其次，随废气进入设备的水（shuǐ）分子、氧分子被高压击穿（chuān）断裂，生成强氧化基（jī）团羟基、臭氧分子等（děng）。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化（huà），加快反（fǎn）应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效率非（fēi）常高。

等离子功能段（duàn）可以激发污染物能（néng）量，促使长链、多链污染物分子的分（fèn）子键断裂重组，使难（nán）处（chù）理的污染物降解为（wéi）较（jiào）易处理的低碳污染物。

从等离子体反（fǎn）应过程可以看出，电子（zǐ）先从电场获得能量（liàng），通过激发或电离将能量转移到污染物分子中（zhōng）去，那（nà）些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基（jī）团与活性基团之间相互碰撞后生（shēng）成稳定产物和热。

另外，高（gāo）能电子也能被（bèi）卤素和氧气等电子亲和力较（jiào）强的物质俘获，成为负离（lí）子。这类负离子具有很（hěn）好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。